Débitmètres & contrôleurs de débit massique

brooks

Série GF100 - Débitmètres massiques & Contrôleurs de débit massique - Brooks Instrument

Conçus pour les semi-conducteurs, MOCVD et autres applications nécessitant un haut degré de pureté (UHP), les débitmètres massiques et contrôleurs de débit de la série GF100 améliorent la précision et la reproductibilité des mesures pour un contrôle optimal des gaz. La série GF100 a été testée pour surpasser de plus de trois fois la norme de l'industrie des semi-conducteurs, garantissant des performances reproductibles au fil du temps.

  • Temps de réponse ultra-rapide de 300 millisecondes
  • Suppression des variations due aux pressions transitoires, modèle haute précision et alimentation des gaz ininterrompue disponible en option
  • Capacité à satisfaire une large gamme d'applications avec un seul appareil (Multiflo ™)
  • Résistance à la corrosion accrue du capteur et de l’orifice de la valve (Hastelloy ®)

Flow-Control-2011-Innovation-Award-Logo

Série GF40/80 – Débitmètres massiques & Contrôleurs de débit massique

Conçus pour le dépôt de couches fines, les recouvrements minces, les dépôts chimiques en phase vapeur (CVD), les procédés sous vide, les bioréacteurs et autres applications industrielles de contrôle de gaz nécessitant des solutions abordables, la série GF40/80 est le choix parfait pour les clients qui utilisent des débitmètres massiques et contrôleurs de débit massique pour une variété de gaz, qui ont besoin de changer le type de gaz fréquemment, ou qui ont besoin de modifier la plage de mesure tout en préservant la précision de la mesure et un contrôle optimal.

  • Joints d’étanchéité en élastomère ou métal
  • Temps de réponse ultra-rapide (moins d’une seconde)
  • Capacité à satisfaire une large gamme d'applications avec un seul appareil (Multiflo ™)
  • Résistance à la corrosion accrue du capteur (Hastelloy ®)

Spécification & Documentation

Débitmètres massiques & Contrôleurs de débit massique avec option MultiFlo

        Pression Max. Temp. Max.  
Modèles Types Capacité Précision Bar Psig C F Entrées/sortie

TMF-GF125-200

GF100
Débitmètre/contrôleur haute pureté avec siège en métal et suppression des variations dues aux pressions transitoires 3 sccm -
55 slpm
équivalent N2
±1% de la mesure
(35-100% de l’échelle)
33 485 50 122 0 - 5 Vdc / RS485 / DeviceNet™

TMF-GF125-200

GF120
Débitmètre/contrôleur ultra haute pureté (UHP) avec siège en métal 3 sccm -
55 slpm
équivalent N2
±1% de la mesure
(35-100% de l’échelle)
33 485 50 122 0 - 5 Vdc / RS485 / DeviceNet™

TMF-GF125-200

GF125
Contrôleur ultra haute pureté (UHP) avec siège en métal et suppression des variations dues aux pressions transitoires 3 sccm -
55 slpm
équivalent N2
±1% de la mesure
(35-100% de l’échelle)
6 85 50 122 0 - 5 Vdc / RS485 / DeviceNet™

TMF-GF125-200

GF125 (HA)
Débitmètre/contrôleur ultra haute pureté (UHP) et haute précision avec siège en métal 5 sccm -
10 slpm
équivalent N2
±1% de la mesure
(10-100% de l’échelle)
6 85 50 122 0 - 5 Vdc / RS485 / DeviceNet™

TMF-GF125-200

GF120 (SDS)
Safe Delivery System
Contrôleur ultra haute pureté (UHP) avec siège en métal et alimentation des gaz ininterrompue 4 sccm - 1 slpm ±1% de la mesure
(35-100% de l’échelle)
33 485 50 122 0 - 5 Vdc / RS485 / DeviceNet™

GF80

GF80
Débitmètre/contrôleur avec siège en métal 3 sccm - 30 slpm ±1% de la mesure
(35-100% de l’échelle)
10 150 65 150 0-5 Vdc / 4-20 mA / Profibus / RS485 / DeviceNet™

GF40

GF40
Débitmètre/contrôleur avec siège en élastomère 3 sccm - 30 slpm ±1% de la mesure
(35-100% de l’échelle)
10 150 65 150 0-5 Vdc / 4-20 mA / Profibus / RS485 / DeviceNet™