Technologie Débitmètres massiques

Débitmètres et contrôleurs de débit massique - MFC/MFM

Les débitmètres thermiques massiques (MFC/MFM) utilisent un principe thermodynamique afin de mesurer le débit massique réel. Les capteurs de débit massique thermique peuvent être combinés avec une valve intégrale et un régulateur de débit de type PID dans un seul instrument compact, permettant ainsi de contrôler avec précision les flux de gaz et de liquides sur une large plage de débits. Les débitmètres massiques thermiques présentent une répétitivité et une précision élevées, fournissant un moyen efficace pour garantir un processus fiable et stable.

Brooks Instrument propose une vaste gamme de débitmètres et contrôleurs de débit massique afin d’assurer exactement le bon instrument pour votre application. Les débitmètres massiques de Brooks Instrument offrent des avantages significatifs en terme de temps de réponse, précision, répétitivité, auto-diagnostique et flexibilité d'application. Brooks Instrument offre le plus large éventail d'options de l’industrie afin de répondre parfaitement aux besoins de vos applications.

  • Contrôleurs de débit massique avec suppression des variations due aux pressions transitoires (une première dans l'industrie)
  • Capacité à satisfaire une large gamme d'applications avec un seul appareil (Multiflo ™)
  • Communication Fieldbus FOUNDATION ™ (une première dans l'industrie)
  • Débitmètres ultra-haute pureté pour les applications CVD, solaires et l'industrie des semi-conducteurs
  • Débitmètres avec protection NEMA 4X/IP66 pour les applications avec nettoyage (la première dans l'industrie)
  • Contrôleurs de débit massique avec configuration Downport pour la facilité d'entretien

Les débitmètres massiques et contrôleurs de débit massique de Brooks Instrument sont offerts dans un large éventail de certifications et d’approbations afin de permettre leur utilisation en zones dangereuses. Les débitmètres massiques de Brooks Instrument sont reconnus dans l'industrie pour leur qualité et fiabilité grâce au grand nombre d’appareils en opération depuis plus de 20 ans.

Produits avec la technologie de débit massique thermique

Brooks propose une gamme de produits qui met en œuvre la technologie de débit massique thermique. Pour plus d'informations, visitez: