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Mesure de débit pour les semi-conducteurs

Les vaporisateurs de Brooks Instrument permettent l’apport de liquides précurseurs de façon flexible et reproductible. Ces systèmes sont dotés de contrôleurs de débit intégrés (gaz et liquides) ainsi que d’un module d’injection direct de liquide qui garantit l’évaporation complète, un temps de transit faible et des démarrages et arrêts rapides. Les vaporisateurs de Brooks Instrument sont conçus selon une architecture modulaire afin de permettre leurs utilisations sur une vaste gamme de fluides et conditions d'opération.