Systèmes & solutions intégrés

Vaporisateurs & atomiseurs

Les systèmes de vaporisation et d’injection de liquide directs de Brooks Instrument sont conçus pour les clients qui ont besoin de vaporisation et d’atomisation de liquide fiables. Présentant une technique d’atomisation et d’échange de chaleur unique, ces instruments permettent la production de vapeur pure sur demande pour les applications telles que:

  • La vaporisation de l'eau pour l'humidification de piles à combustibles
  • La vaporisation des liquides pour les applications de dépôts chimiques en phase vapeur (CVD), de dépôts chimiques d'oxyde de métal en phase vapeur (MOCVD) ainsi que pour les dépôts atomiques (ALD)
  • La déposition de revêtement de carbone (diamant) ou de verre afin d’améliorer la dureté ou les caractéristiques thermiques ou optiques des matériaux
  • La vaporisation de monomères pour les applications de polymérisation sous vide
  • La génération de vapeur d'étalonnage
  • La vaporisation des hydrocarbures liquides

La technologie de vaporisation et d’injection de liquide directe de Brooks Instrument permet de surmonter les nombreuses limites des technologies classiques de vaporisation. L’utilisation de la technique d’atomisation, plutôt que des techniques classiques consistant à appliquer directement de la chaleur au liquide à l’aide de surfaces chaudes, permet :

  • D’éviter la décomposition thermique des composés chimiques
  • D’éviter les fluctuations de pression dans la chambre de dépôts causées par la vaporisation incomplète des liquides
  • De mesurer avec précision la masse de vapeur effectivement délivrée par le vaporisateur sans avoir recours à des techniques de mesures secondaires.

Spécification & Documentation
Vaporisateur et système d’injection de liquide directs
  • Pression : vide à plusieurs atmosphères
  • Capacité de vapeur: inférieure à 5 grammes par heure à plus de 15 kg par heure.
  • Acceptent plusieurs liquides et composés chimiques
  • Matériaux en contact avec le procédé: Acier inoxydable 316L avec des joints en élastomère, tous soudés 316L ou 316L électropolis avec des joints en nickel
  • Chauffage de la chambre de vaporisation : bande électrique
  • Puissance de chauffage : moins de 100W à plus de 5000W, selon l'application, 100, 115, ou 230 VAC
  • Sondes de température: 2 thermocouples de type K, un pour température de la chambre et 1 pour l'alarme de température
  • Raccords de procédés: 1 / 8 "à 1" compression, sanitaire ou NPT
  • Intégrité de fuite: 1 x 10-9 cc / sec hélium
  • Dimensions: environ 7,5 "x 5" x 5 "(200mm x 125mm x 125mm) (varient selon l'application)
  • Contrôleurs de masse pour le liquide (ou composé chimique) : Régulateurs de débit liquide Coriolis Brooks Quantim.
  • Contrôleurs de débit des gaz : Contrôleurs de débit de masse thermique Brooks